«Средства будут направлены на оборудование в НОЦ «Нанотехнологии» нового участка — высокопроизводительной фотолитографии, который необходим для повышения производительности технологической линии НОЦ ТУСУР и развития специализации «Наногетероструктурная электроника СВЧ», — говорится в сообщении.
Отмечается, что в настоящее время в ТУСУРе производится необходимая реконструкция помещений, которые до конца 2015 года будут оснащены необходимым оборудованием для поддержания специального климата и обеспечения заданного класса частоты, и где в последующем будет размещена установка проекционной литографии — необходимая в технологической линии производства интегральных микросхем нового поколения. Запустить участок планируется в первом квартале 2016 года.
